市售品有装在钢瓶中的纯度为99.9%(质量分数)左右的六氟化铀。它可由铀的氧化物、卤化合物及其他化合物与氟反应制得，作为氟化剂还有ClF₃、BrF₃、O₂F₂、KrF₂等。

制法 1 59.6mgU₃O₈置于一Kel-F反应器中，在2.6mL无水HF介质中，室温下与约1gKr F₂反应，一天后，所有的黑色氧化物都溶解成为无色溶液。将Kel-F反应器抽真空，发现所有组分都是挥发性的，分离HF后，可定量的得到只有痕量杂质的UF₆(红外光谱显示)。同样，也可以用气体O₂F₂作氧化剂在室温下将U₃O₈转化为UF₆。

制法2 用ClF₃作为氧化剂与铀反应制备UF₆。因为UF₆和ClF₃都是强氧化剂且有毒，所以要特别的小心，不要使其与可氧化性材料接触，操作时要穿上保护衣、戴上面罩。用静态的反应器时，此方法不宜用于比下列所述的更大量产品的制备。

用装配有蒙乃尔压力计部件和防爆膜及用蒙乃尔针阀(Whitey)封闭的高压蒙乃尔铜镍合金弹(Parr，series 4740，V=71mL)作为反应装置。首先，用CFCl₃将装置洗几遍，接着干燥，并充入F₂气体以减小装置的活性(Solvay；2×10⁵Pa，24h，100℃)。取8.80g(40mmol)的金属铀切片(Cerac，>99.7%)置于预先钝化好的反应器中。取12.0g(130mmol)的ClF₃(Air Products)使之在-196℃下冷凝在镍真空管线上，然后加热混合物至室温，通过一带有三个喷嘴的系统用压缩空气从外面冷却反应器(注意，反应是放热的，它会使反应弹的外表面升温。)。1h之后，所有在-78℃挥发的物质(生成的ClF，熔点：-155.6℃，沸点：-100.1℃)都用泵抽走而除去，然后再使反应弹升温至-50℃，痕量未反应的ClF3(熔点：-76.3℃，沸点：11.8℃)用泵抽走，将反应器置于干燥箱中，打开反应器，白色的挥发性的UF₆立即转移进一个消焰(flamed-out)Pyrex真空升华系统中，升华后，回收得到12.0g(34mmol)白色的UF₆晶体，相当于85%的产率。