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三氯化硼

三氯化硼

【用途一】
用作半导体硅的掺杂源,有机合成催化剂;还可用于高纯硼和有机硼化合物的制取
【用途二】
可用以制造高纯硼、有机合成用催化剂、硅酸盐分解时的助熔剂、可对钢铁进行硼化。还可用来制造氮化硼及硼烷化合物。
【用途三】
主要用于电子工业硅半导体器件和集成电路生产所用的扩散、离子注入、干法蚀刻等工艺。
产品名称
  • 中文名
    三氯化硼
  • 英文名
    Boron trichloride
  • 中文别名
    三氯化硼
  • 英文别名
    trichloro-borane
    Borontrichloride
    Boron trichloride
    Trichloroborane
    chloruredebore
    MFCD00011313
    boron chloride
    BCl3
    trichloro-boran
    Trichloroboron
    boric trichloride
    EINECS 233-658-4
    Borane,trichloro
    Borane, trichloro-
  • 常用名
    三氯化硼
  • C A S号
    10294-34-5
物理性质
  • 密度
    1.4±0.1 g/cm3
  • 沸点
    12.5±9.0 °C at 760 mmHg
  • 熔点
    −107 °C(lit.)
  • 化学式
    BCl3
  • 结构式

    1、摩尔折射率:20.02

    2、摩尔体积(cm3/mol):84.6

    3、等张比容(90.2K):184.4

    4、表面张力(dyne/cm):22.5

    5、介电常数:无可用的

    6、极化率(10-24cm3):7.93

    7、单一同位素质量:115.915864 Da

    8、标称质量:116 Da

    9、平均质量:117.17 Da

  • 闪点
    84 °F
  • 分子量
    117.170
  • 精确质量
    115.915863
  • P S A
  • 外观形状
    透明无色液体或气体,空气中的烟雾
  • 储存条件

    储存注意事项 储存于阴凉、通风的不燃气体专用库房。远离火种、热源。库温不宜超过30℃。保持容器密封。应与氧化剂、碱类、醇类、碱金属等分开存放,切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。

  • 稳定性
  • 水溶解性
  • 形态
  • H L B值
  • 粘度
  • PH值
作用/用途
【用途一】
用作半导体硅的掺杂源,有机合成催化剂;还可用于高纯硼和有机硼化合物的制取
【用途二】
可用以制造高纯硼、有机合成用催化剂、硅酸盐分解时的助熔剂、可对钢铁进行硼化。还可用来制造氮化硼及硼烷化合物。
【用途三】
主要用于电子工业硅半导体器件和集成电路生产所用的扩散、离子注入、干法蚀刻等工艺。
制备方法

1.氟硼酸钾、硼酐、硫酸法 将氟硼酸钾和硼酐一起研磨均匀,按一定的配料比加入反应器中,再加入浓硫酸,不断搅拌,使固体和液体混合均匀,逐渐加热,到一定程度便有氟化硼产生。在温度达到40 ℃左右时,反应物开始沸腾,当温度达到93~130 ℃时,产生的气体最多。生成的氟化硼气体净化后进入收集器中。其反应式如下:
10294-34-5 preparation

将干燥的元素硼粉放入管式反应炉的反应管里,先用惰性气体排除空气,然后加热300℃,通入少量氯气,在温度达到650℃时,大量通入氯气,在温度控制在650-750℃。生成的三氯化硼由接收器用于冰冷却收集,再经精馏,制得三氯化硼成品。其反应式如下:
10294-34-5 preparation

将精制三氯化硼为原料,通过吸附和蒸馏的方法进行提纯,制得高纯度三氯化硼。

安全提醒
MSDS
第一部分:化学品名称
化学品中文名称:
三氯化硼
化学品英文名称:
boron trichloride
中文名称 2
氯化硼
英文名称 2
boron chloride
技术说明书编码:
72
CAS No.
10294-34-5
分子式:
BCl3
分子量:
117.19
第二部分:成分 / 组成信息
有害物成分
含量
CAS No.
三氯化硼
10294-34-5
第三部分:危险性概述
危险性类别:
侵入途径:
健康危害:
吸入、口服或经皮肤吸收对身体有害。可引起化学灼伤。对眼睛、皮肤、粘膜和上呼吸道有强烈的腐蚀作用。吸入后可因喉、支气管的痉挛、水肿,化学性肺炎、肺水肿而致死。中毒表现有烧灼感、咳嗽、喘息、喉炎、气短、头痛、恶心和呕吐。慢性影响:具有神经毒性。
环境危害:
燃爆危险:
本品不燃,具强腐蚀性、强刺激性,可致人体灼伤。
第四部分:急救措施
皮肤接触:
立即脱去污染的衣着,用大量流动清水冲洗至少 15 分钟。就医。
眼睛接触:
立即提起眼睑,用大量流动清水或生理盐水彻底冲洗至少 15 分钟。就医。
吸入:
迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难,给输氧。如呼吸停止,立即进行人工呼吸。就医。
食入:
用水漱口,给饮牛奶或蛋清。就医。
第五部分:消防措施
危险特性:
化学反应活性很高,遇水发生爆炸性分解。与铜及其合金有可能生成具有爆炸性的氯乙炔。遇潮气时对大多数金属有强腐蚀性,也能腐蚀玻璃等。在潮湿空气中可形成白色的腐蚀性浓厚烟雾。
有害燃烧产物:
氯化氢、氧化硼。
灭火方法:
本品不燃。切断气源。喷水冷却容器,可能的话将容器从火场移至空旷处。灭火剂:砂土。禁止用水和泡沫灭火。
第六部分:泄漏应急处理
应急处理:
迅速撤离泄漏污染区人员至上风处,并立即隔离 150m ,严格限制出入。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器,穿防酸碱工作服。尽可能切断泄漏源。若是气体,合理通风,加速扩散。如有可能,将残余气或漏出气用排风机送至水洗塔或与塔相连的通风橱内。漏气容器要妥善处理,修复、检验后再用。若是液体,用砂土、蛭石或其它惰性材料吸收。若大量泄漏,构筑围堤或挖坑收容。喷雾状水冷却和稀释蒸汽,保护现场人员,但不要对泄漏点直接喷水。用防爆泵转移至槽车或专用收集器内,回收或运至废物处理场所处置。
第七部分:操作处置与储存
操作注意事项:
密闭操作,局部排风。操作人员必须经过专门培训,严格遵守操作规程。建议操作人员佩戴自吸过滤式防毒面具(全面罩),穿橡胶耐酸碱服,戴橡胶手套。防止气体或蒸气泄漏到工作场所空气中。避免与氧化剂、碱类、醇类、碱金属接触。尤其要注意避免与水接触。搬运时要轻装轻卸,防止包装及容器损坏。配备泄漏应急处理设备。
储存注意事项:
储存于阴凉、通风的库房。远离火种、热源。库温不宜超过 10 ℃。保持容器密封。应与氧化剂、碱类、醇类、碱金属等分开存放,切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。
第八部分:接触控制 / 个体防护
职业接触限值
中国 MAC(mg/m3)
未制定标准
前苏联 MAC(mg/m3)
10
TLVTN
未制定标准
TLVWN
未制定标准
监测方法:
工程控制:
密闭操作,局部排风。
呼吸系统防护:
空气中浓度超标时,佩戴自吸过滤式防毒面具(全面罩)紧急事态抢救或撤离时,建议佩戴氧气呼吸器。
眼睛防护:
呼吸系统防护中已作防护。
身体防护:
穿橡胶耐酸碱服。
手防护:
戴橡胶手套。
其他防护:
工作完毕,淋浴更衣。保持良好的卫生习惯。
第九部分:理化特性
主要成分:
纯品
外观与性状:
无色发烟液体或气体,有强烈臭味,易潮解。
pH
熔点 ( )
-107.3
沸点 ( )
12.5
相对密度 ( =1)
1.43
相对蒸气密度 ( 空气 =1)
4.03
饱和蒸气压 (kPa)
101.32(12.5)
燃烧热 (kJ/mol)
无意义
临界温度 ( )
无资料
临界压力 (MPa)
无资料
辛醇 / 水分配系数的对数值:
无资料
闪点 ( )
无意义
引燃温度 ( )
无意义
爆炸上限 %(V/V)
无意义
爆炸下限 %(V/V)
无意义
溶解性:
溶于苯、二硫化碳。
主要用途:
用作半导体硅的掺杂源或有机合成催化剂,还用于高纯硼或有机硼的制取。
其它理化性质:
第十部分:稳定性和反应活性
稳定性:
禁配物:
水、碱、醇类、碱金属、强氧化剂。
避免接触的条件:
聚合危害:
分解产物:
第十一部分:毒理学资料
急性毒性:
LD50 :无资料

LC50
12171mg/m3 1 小时 ( 大鼠吸入 )
亚急性和慢性毒性:
刺激性:
致敏性:
致突变性:
致畸性:
致癌性:
第十二部分:生态学资料
生态毒理毒性:
生物降解性:
非生物降解性:
生物富集或生物积累性:
其它有害作用:
无资料。
第十三部分:废弃处置
废弃物性质:
废弃处置方法:
处置前应参阅国家和地方有关法规。废气直接排入大气。
废弃注意事项:
第十四部分:运输信息
危险货物编号:
22023
UN 编号:
1741
包装标志:
包装类别:
O53
包装方法:
钢质气瓶;安瓿瓶外普通木箱。
运输注意事项:
铁路运输时应严格按照铁道部《危险货物运输规则》中的危险货物配装表进行配装。采用刚瓶运输时必须戴好钢瓶上的安全帽。钢瓶一般平放,并应将瓶口朝同一方向,不可交叉;高度不得超过车辆的防护栏板,并用三角木垫卡牢,防止滚动。严禁与氧化剂、碱类、醇类、碱金属、食用化学品等混装混运。夏季应早晚运输,防止日光曝晒。公路运输时要按规定路线行驶,禁止在居民区和人口稠密区停留。铁路运输时要禁止溜放。
第十五部分:法规信息
法规信息
化学危险物品安全管理条例 (1987 2 17 日国务院发布 ) ,化学危险物品安全管理条例实施细则 ( 化劳发 [1992] 677 ) ,工作场所安全使用化学品规定 ([1996] 劳部发 423 ) 等法规,针对化学危险品的安全使用、生产、储存、运输、装卸等方面均作了相应规定;常用危险化学品的分类及标志 (GB 13690-92) 将该物质划为第 2.2 类不燃气体。
第十六部分:其他信息
参考文献:
填表时间:
填表部门:
数据审核单位:
修改说明:
其他信息:
MSDS 修改日期:

原料简介
应用范围
毒性和生态
安全信息
符号 GHS05 GHS06 GHS08
GHS05, GHS06, GHS08
信号词 Danger
危害声明 H301 + H331-H314-H335-H336-H351-H373
补充危害声明 Reacts violently with water.
警示性声明 P261-P280-P301 + P310-P305 + P351 + P338-P310
靶器官 Blood, Central nervous system, Liver
个人防护装备 Faceshields;full-face respirator (US);Gloves;Goggles;multi-purpose combination respirator cartridge (US);type ABEK (EN14387) respirator filter
危害码 (欧洲) F:Flammable;T+:Verytoxic;N:Dangerousfortheenvironment;
风险声明 (欧洲) R11;R14;R26/28;R34;R48/20;R51/53;R62;R65;R67
安全声明 (欧洲) S9-S26-S28-S36/37/39-S45-S8-S61-S38-S28A-S16-S1-S60-S33-S23-S7/9-S62
危险品运输编码 UN 3390 6.1/PG 1
WGK德国 3
RTECS号 ED1925000
危险类别 2.3
海关编码 2812104900
是否危险品
危险性
危险类别码
危险等级
触发危险方式
安全技术说明书
环境影响程度
包装与储运
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