很多真空镀膜机工程师在镀膜工件完成后，有时会发现工件表面会出现白雾的问题，有的是出现在外表面，有的是出现在内表面，用丙酮或混合液擦拭，会有越擦越严重的现象，如果不能及时查明原因，就会造成不良率提升，这是很多镀膜工程师苦恼的问题，下面汇成真空小编为大家介绍一下出现膜外白雾和膜内白雾的原因，以及解决方法，希望能帮助到大家：真空镀膜机镀工件白雾在内测，膜外白雾的成因较为复杂，可能的成因有：① 膜结构问题：外层膜的柱状结构松散，外层膜太粗糙；② 蒸发角过大，膜结构粗糙。③ 温差：镜片出罩时内外温差过大④ 潮气；镜片出罩后摆放环境的潮气⑤ 真空室内POLYCOLD解冻时水汽过重⑥ 蒸镀中充氧不完全，膜结构不均匀⑦ 膜与膜之间的应力改善思路：膜外白雾成因很多，但各有些特征，尽量对症下药。主要思路，一是把膜做的致密光滑些不容易吸附，二是改善环境减少吸附的对象。改善对策：㈠ 改善膜系，外层加二氧化硅，使膜表面光滑，不易吸附。改善镜片出罩时的环境（干燥、清洁）㈡ 降低出罩时的镜片温度（延长在真空室的冷却时间）减少温差、降低应力。㈢ 改善充氧（加大），改善膜结构。㈣ 适当降低蒸发速率，改善柱状结构㈤ 离子辅助镀膜，改善膜结构㈥ 加上polycold解冻时的小充气阀（其功能是及时带走水汽）㈦ 从蒸发源和夹具上想办法改善蒸发角。㈧ 改善基片表面粗糙度。㈨ 注意polycold解冻时的真空度。真空镀膜机镀工件，白雾形成在膜内，无法用擦拭方法祛除。可能的成因：① 基片脏，附着前工程的残留物② 镜片表面腐蚀污染③ 膜料与膜料之间、膜料与基片之间的匹配。④ 氧化物充氧不够。⑤ 第一层氧化锆膜料，可能对某些基片产生白晕现象⑥ 基片进罩前（洗净后）受潮气污染⑦ 洗净或擦拭不良，洗净痕迹、擦拭痕迹⑧ 真空室脏、水气过重⑨ 环境湿度大改善思路：基片本身的问题可能是主要的，镀膜是尽量弥补，镀膜本身最大的可能是膜料匹配问题。改善对策：㈠改进膜系，第一层不用氧化锆。㈡尽量减少真空室开门时间，罩与罩之间在最短的时间内做好真空室的清洁、镀膜准备工作。㈢真空室在更换护板、清洁后，最好能空罩抽真空烘烤一下，更换的护板等真空室部件必须干燥、干净。㈣改善环境㈤妥善保护进罩前在伞片上的镜片，免受污染。㈥改善洗净、擦拭效果。㈦改善膜匹配（考虑第一层用Al2O3）㈧改善膜充氧和蒸发速率（降低）㈨加快前工程的流程。前工程对已加工光面的保护加强。㈩抛光加工完成的光面，必须立即清洁干净，不能有抛光粉或其他杂质附着干结。
声明：说化有益·表面处理联盟网专业视角栏目旨在免费为同行提供知识共享和储存，所有文章均由业内专业人士发布(包括转帖)，文末都会标注作者，版权归作者所有。文章仅代表作者本人的观点，本站不保证文章等内容的有效性。
知识互通，携手共进，我们欢迎各方(自)媒体，机构转载，引用我们原创内容，但需严格注明来源。同时，我们也倡导尊重与保护知识产权，如发现文章内容涉及侵权，请通过在线咨询进行投诉，我们会在第一时间核实处理。
您暂未开通PLUS会员，请选择您的会员套餐
