铜材化学抛光液配方主要分为三种：传统铬酸盐体系工艺，该工艺主要是利用六价铬的强氧化性来对铜材进行抛光的，由于其用到了有强致癌性的六价铬目前已经被禁止使用了。传统的三酸体系工艺，该工艺主要是利用硝酸、硫酸、盐酸等无机酸配合来进行抛光的，由于其含有硝酸，在反应过程中会放出大量的黄烟（氮氧化物）有剧毒，会对操作人员和环境造成严重污染，目前也已经被大面积限制或禁止使用了。环保体系工艺，该系列最常用的有双氧水体系抛光液，该体系主要利用双氧水的强氧化性来对铜进行抛光处理，但是双氧水易分解导致其使用时有较大的制约性。新型环保铜材酸洗抛光液，目前凯盟——美贝仕研究开发了一款型不含有毒重金属、不含硝酸及其盐、不含磷酸及其盐、不含双氧水的环保酸洗抛光液，已经推上市场使用取得了较好的市场效应。
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